第19回ゲートスタック研究会
「ゲートスタック研究会 ―材料・プロセス・評価の物理―」第19回研究会 (1月23日~25日、ニューウェルシティ湯河原)にて、田中君(B4)がHigh-k/Geゲートスタックについて、岡君(M1)がGeコンタクト形成技術について、梶村さん(M1)が液相成長GOI構造の光学特性評価について研究成果を発表しました。 3名ともよく頑張りました!
大阪大学 大学院工学研究科 物理学系専攻 精密工学コース 先進デバイス工学領域 渡部研究室のブログです。
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